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徕卡体视显微镜中透镜的像差

发布时间:2013-09-09   点击次数:1790次

徕卡体视显微镜中透镜的像差

前面我们讨论的是理想成像的电子光学。在一些待定的条件下,物与像之间有点一点对应和几何相似的关系。然而实际情况与理想的像有偏离,这就是伤差。我们可以根据它们不同的产生原因,用像点径向位置的偏离来作定量描述。

1.几何修差

当电子轨迹不满足倍铀条件时所形成的像差称为几何像差。已知倍轴条件归结为两点,即(一)轨迹的径向离轴位置(r)很小;(二)轨迹相对于轴的斜率或电子束对轴的倾角也很小。几何像差来自这些量并非无限小。研究指出,影响zui重要的是三级倍差,即实际像点的偏离正比于这些量的三级项者。它们是球差(正比于小)、当形差(正比于M’)、场曲和像散(正比于rz“)和畸变(正比于r3)。电镜中我们只关注*种和第四种几何像差。

2.球差

经轴上物点发出的电子束斜率较小者,可在理想伤平面中会聚成一个点。如果透镜光闹所决定的孔径角。A1、A2一分别为像方或物方的电子柬有效孔径角(或半张角)。因为孔径角为吨的实心锥形电子束中包含有从o”蝎不同孔径角的各电子束,它会聚在不同位置处,因此在理想像点与zui近透镜的像点之间的某处.必存在一zui小模糊圆。

式中各符号纳意义同式。电子光学中的球差是不可消除的。球差系数与透镜极靴的形状,焦炬等有关,故在仪器的设计中应尽量设法减小c的值。此外在使用中还可用物镜光闹扎的大小来调节束孔径角轧、从而减小球差的模糊斑。

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